Электронно-зондовый микроанализ

Электронно-зондовый микроанализ (микрорентгеноспектральный анализ) - широко востребованный в минералогии и геохимии, высокоточный, локальный метод анализа химического состава природных материалов на участке микроскопических размеров. Исследуемый образец помещается в вакуумную камеру электронного микроскопа и облучается сфокусированным направленным пучком электронов высокой энергии. Пучок электронов (электронный зонд) взаимодействует с приповерхностным участком образца глубиной обычно менее нескольких микрон. Возбужденнное электронным зондом рентгеновское характеристическое излучение регистрируется с помощью волнодисперсионных и энергодисперсионных спектрометров (ВДС и ЭДС). Возникающее излучение при анализе на спектрометрах с помощью кристалла-анализатора разлагается в спектр и регистрируется счетчиками. Чувствительность электронно-зондового микроанализа лежит в пределах 0,1–0,001% в зависимости от определяемого химического элемента и условий анализа.